隨著我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速增長，國家對裝備行業(yè)的日益重視，給我國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)帶來了前所未有的機(jī)遇。

在高端設(shè)備領(lǐng)域，國內(nèi)廠商在技術(shù)上無法與國外廠商同臺競技，而且隨著關(guān)稅的逐步降低，以往的價格優(yōu)勢也在逐步縮小。但在技術(shù)差距不大的中低端市場，通過市場細(xì)分，大部分國內(nèi)生產(chǎn)商擁有穩(wěn)定的客戶群，而且市場優(yōu)勢也相對明顯。中國電子科技集團(tuán)公司第四十五研究所市場部主任胡保平對國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備所具有的優(yōu)勢進(jìn)行了詮釋，他說，價格方面，在同等的技術(shù)水平下，國產(chǎn)設(shè)備價格通常不到進(jìn)口設(shè)備的1/2，高性價比及高資金回報率吸引了國內(nèi)大部分采購商；在地域上，接近市場，既有利于售前技術(shù)交流及與工藝單位的密切配合，為用戶量身定做產(chǎn)品，也有利于售后的維修服務(wù)和長遠(yuǎn)的零部件供應(yīng)；在服務(wù)上，市場的磨礪使國內(nèi)生產(chǎn)商逐漸成熟，從市場導(dǎo)向到用戶導(dǎo)向，從“價格贏人”到“服務(wù)留人”，本土企業(yè)服務(wù)觀念的轉(zhuǎn)變極大提升了國內(nèi)用戶對使用國產(chǎn)設(shè)備的信心。



事實上，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備從中低端突破已經(jīng)在業(yè)內(nèi)達(dá)成共識。北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司微電子設(shè)備分公司總經(jīng)理盛金龍告訴記者，我們國家的半導(dǎo)體設(shè)備尤其是主要設(shè)備，既要在諸如曝光、刻蝕和離子注入等關(guān)鍵設(shè)備上實現(xiàn)突破，也要關(guān)注諸如氧化擴(kuò)散設(shè)備、化學(xué)腐蝕設(shè)備、硅片清洗設(shè)備。從一定意義上說，后者更有率先實現(xiàn)突破的條件，因為多年來我們沉淀了雄厚的技術(shù)，又有廣泛的客戶基礎(chǔ)。其本身的技術(shù)難度也相對于曝光、刻蝕和離子注入等關(guān)鍵設(shè)備要稍微小一些，又是IC線上所用的數(shù)量巨大的設(shè)備類型。他強(qiáng)調(diào)說，國家及企業(yè)在這幾個產(chǎn)品領(lǐng)域應(yīng)加強(qiáng)力量投入，這幾種設(shè)備的大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化所需要的資源應(yīng)該要比其他幾項要少得多，實現(xiàn)突破的前景更美好。

中國電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所副所長王俊朝表示，IC產(chǎn)業(yè)的中低端設(shè)備、太陽能電池制造設(shè)備、LED及LCD部分前工序關(guān)鍵設(shè)備和后工序設(shè)備等國產(chǎn)設(shè)備已有良好基礎(chǔ)的領(lǐng)域依然是國產(chǎn)設(shè)備應(yīng)選擇的市場突破點。離子注入機(jī)、刻蝕機(jī)、光刻機(jī)、MOCVD等關(guān)鍵設(shè)備應(yīng)是國產(chǎn)設(shè)備選擇的技術(shù)突破點。

由于國外太陽能電池需求的猛增，使國內(nèi)太陽能電池產(chǎn)業(yè)也呈跳躍式發(fā)展，因此極大地促進(jìn)了以太陽能電池片為主的半導(dǎo)體設(shè)備的增長，使其成為今年半導(dǎo)體設(shè)備的主要組成部分。據(jù)中國半導(dǎo)體設(shè)備工業(yè)協(xié)會統(tǒng)計，今年上半年太陽能電池設(shè)備的銷售額已經(jīng)達(dá)到3億元，已經(jīng)占到半導(dǎo)體設(shè)備銷售額的一半以上。

中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會秘書長金存忠表示，由于國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備很難進(jìn)入大的集成電路生產(chǎn)線，因此，企業(yè)為了生存，只能尋找有市場前景的產(chǎn)品。太陽能電池設(shè)備價格比較低，國外廠商不好介入，而且其技術(shù)難度要比IC設(shè)備小得多，加之國內(nèi)市場的驅(qū)動，因此，目前太陽能電池設(shè)備有廣闊的市場前景，七星華創(chuàng)、中電科技集團(tuán)第48所等國內(nèi)知名半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)單位都已在這個領(lǐng)域取得不俗業(yè)績。

王俊朝告訴中國電子報記者，自2002年開始，通過和一流企業(yè)合作并引進(jìn)先進(jìn)的工藝技術(shù)，歷經(jīng)多次技術(shù)換代及升級，國產(chǎn)的太陽能電池片關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備，如制絨機(jī)、硅片清洗機(jī)、8英寸擴(kuò)散爐、刻蝕機(jī)、PSG祛除機(jī)、低溫烘干爐、燒結(jié)爐、絲網(wǎng)制刷機(jī)等相繼在國內(nèi)大生產(chǎn)線上替代了進(jìn)口設(shè)備，并取得廣泛應(yīng)用。特別是2003年七星華創(chuàng)以及2004年中國電子科技集團(tuán)公司第48研究所研制成功的電池片制造用最關(guān)鍵設(shè)備之一——熱壁式生產(chǎn)型PECVD設(shè)備，使我國設(shè)備業(yè)已基本具備太陽能電池制造設(shè)備整線供給能力。

盡管如此，我們也要看到，國外半導(dǎo)體設(shè)備巨頭，如應(yīng)用材料公司，也在覬覦這個市場，目前他們正在和國內(nèi)的廠商談合作，而一旦他們介入這個領(lǐng)域，定會給國內(nèi)廠商造成很大沖擊。因此，國內(nèi)廠商應(yīng)抓緊手中資源，利用自己的價格、地緣及服務(wù)優(yōu)勢，在太陽能電池設(shè)備領(lǐng)域立穩(wěn)腳跟。

針對前一時期炒得火熱的二手半導(dǎo)體設(shè)備，業(yè)內(nèi)士人紛紛表示，二手設(shè)備只是一個過客，最終要落實到發(fā)展國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)上來。金存忠對記者說，目前二手設(shè)備遇到很多問題，主要是資金和技術(shù)問題。二手設(shè)備的升級及配件供應(yīng)、售后服務(wù)跟不上，制約了二手設(shè)備業(yè)的發(fā)展，而且，二手設(shè)備主要集中在8英寸生產(chǎn)線，國際知名公司12英寸生產(chǎn)線的逐漸增多，將進(jìn)一步限制二手設(shè)備的發(fā)展。

盛金龍表示，二手設(shè)備是IC發(fā)展的時代產(chǎn)物，那是一個必然，在短時間內(nèi)解決了生產(chǎn)線設(shè)備短缺問題，但不是長久之計。從另一個側(cè)面說明，我國的半導(dǎo)體設(shè)備工業(yè)太落后了，F(xiàn)AB太需要支持了。所以只有國產(chǎn)設(shè)備的進(jìn)步速度超過了國際FAB淘汰舊線的速度，二手線就沒有用武之地了。FAB并不是愿意使用二手設(shè)備，而是因為新線投資過大不堪重負(fù)不得已而為之，從根本上說還是國產(chǎn)設(shè)備沒有跟上帶來的。

胡保平告訴記者，實事求是講，上世紀(jì)90年代以前，我國半導(dǎo)體設(shè)備水平與國外差距較大，甚至達(dá)不到國外二手設(shè)備的水平，這使得我國半導(dǎo)體生產(chǎn)企業(yè)大量進(jìn)口二手設(shè)備，但是近幾年來，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備整體水平有了明顯提高，有些設(shè)備已達(dá)到或超過國外新設(shè)備水平，有許多半導(dǎo)體企業(yè)(特別是民營企業(yè))已經(jīng)大量采購國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備并已嘗到了甜頭。另外，近些年來國外的二手設(shè)備市場越來越混亂，有許多用戶已經(jīng)飽嘗了二手洋垃圾的苦頭
。因此，國家應(yīng)該出臺一些政策限制二手設(shè)備的進(jìn)口，扶植國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的成長與發(fā)展。