沈陽市渾南新區(qū)獲悉，由沈陽市政府與渾南新區(qū)共同組織申報的“沈陽集成電路(IC)裝備產(chǎn)業(yè)化基地”項目，被科技部正式批準為“沈陽國家集成電路裝備高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)化基地”。這是目前科技部認定的國內(nèi)唯一一個國家集成電路裝備產(chǎn)業(yè)化基地。

    沈陽集成電路裝備產(chǎn)業(yè)始建于2002年，累計投入資金4億多元。經(jīng)過多年的建設(shè)，集成電路裝備生產(chǎn)企業(yè)已從最初的兩家發(fā)展到現(xiàn)在的37家，其中，骨干企業(yè)達到11家，申報專利近100項。基地主導產(chǎn)品已在國內(nèi)半導體加工、醫(yī)療器械、太陽能電池等行業(yè)得到廣泛應(yīng)用。

    目前，沈陽集成電路裝備產(chǎn)業(yè)基地建有集成電路裝備檢測、精密零部件加工和潔凈技術(shù)平臺，擁有目前國內(nèi)唯一的集成電路裝備孵化器，正在孵化的企業(yè)已達30余家。